압력 조정기

tube and pipe

튜브 및 파이프

고청정 튜브 및 파이프는 이물질 유입없이 고순도의 가스를 반도체 장비까지 공급해주는 부품입니다. 직경 수 ㎜ ∼ 수십 ㎜, 길이 4 m, 6 m의 협소하고 긴 튜브 혹은 파이프 소재 내벽에 잔존하는 오염물질, 결함, 미세흠집 등을 완벽히 제거하여 거울처럼 깨끗하게 만든 고청정 제품입니다.

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fitting

피팅

Fitting은 고청정 튜브를 연결하거나 직각으로 꺾을 때 사용하는 부품입니다. 튜브 및 파이프와 같이 내벽에 잔존할 수 있는 오염물질이나 결함 등을 없앤 고청정 상태로 만들어 준 제품입니다. 고압에서 사용되는 제품의 경우 1,000℃ 고온에서 100㎏/㎠ 이상의 고압으로 단조처리 해 내부 결함을 완벽히 제거한 소재를 활용하기도 합니다.

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valves_pressure

밸브 및 압력조정기(레귤레이터)

밸브 및 압력조정기는 반도체 공정에 사용되는 고순도 가스가 일정한 양과 압력으로 공급되도록 조절해주는 부품입니다. 1㎠당 수㎏에서 수백㎏에 이르는 높은 압력으로 들어오는 고순도 가스를 균일한 압력으로 정량 공급해주는 첨단 부품입니다.

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fillter_diffuser

필터 디퓨저

필터는 머리카락 굵기의 1/1,000 내지 1/100,000 밖에 안 되는 극도로 미세한 나노 크기의 입자도 반도체 및 LCD 장비에 유입되지 않도록 걸러주는 부품입니다. 반도체 장비에 불순물 유입을 원천적으로 막아줌으로써 반도체 생산수율을 향상시키는 핵심 부품입니다.

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