- HOME
- 보도자료
PRESS
보도자료
[IR52 장영실상] 아스플로 / 반도체공정용 고청정 금속필터
[IR52 장영실상] 아스플로 / 반도체공정용 고청정 금속필터
초미세 이물질까지 싹 걸러내 반도체 생산성 쑥
아스플로가 고청정 금속필터를 개발하기 전까지는 국내에 이 같은 고청정 금속필터가 없었다. 박만호 아스플로 기술연구소장은 "100% 수입에 의존하다 보니 부품 수급이 용이하지 않은 문제가 반복됐다"며 "이를 해결하기 위해 국산화 연구에 뛰어들게 됐다"고 말했다. 아스플로 연구진은 5년간 연구개발(R&D)한 끝에 2017년 해외 제품과 동일한 수준의 성능을 갖춘 반도체 공정 장비용 고청정 금속필터를 개발하는 데 성공했다. 아스플로 고청정 금속필터는 스테인리스스틸과 하스텔로이(니켈합금의 일종) 등 부식에 강한 소재로 만들어 내구성이 우수하다. 이들 금속 분말로 필터 형상을 만든 뒤 도자기를 굽듯 섭씨 1000도 이상의 고온과 고진공 환경에서 제작했다. 고운 입자가 굳는 과정에서 복잡한 기공 구조를 형성해 수 ㎚의 초미세입자를 여과하는 데 탁월한 능력을 발휘할 수 있다는 설명이다. 아스플로는 "초미세입자 여과에 있어 해외 제품보다 성능이 뛰어나고 가격은 훨씬 저렴하다"고 설명했다.
■ 주최 : 과학기술정보통신부
■ 주관 : 매일경제신문사 한국산업기술진흥협회
[송경은 기자] 입력 2019.12.11. 17:42
ⓒ 매일경제 & mk.co.kr, 무단전재 및 재배포 금지
본사/R&D센터 경기도 화성시 정남면 정남산단로 38
영업사무소 경기도 화성시 동탄첨단산업1로 27, b동 3321호 (영천동, 금강펜테리움ix타워)
대표전화 : 031-352-2301 | 팩스 : 031-352-2309
베트남 법인 No 6 VSIP II-A, Hoa Binh Street, Viet Nam – Singapore II-A Industrial Park, Vinh Tan Ward, Tan Uyen Town, Binh Duong Province, Viet Nam
중국 법인 –
© ASFLOW Co., Ltd. All Rights Reserved.